Home Forumübersicht Login Registration F A Q Mitglieder Suchen Impressum


Suche





Login
Benutzername:

Passwort:

Speichern?




Statistik:
Beiträge: 2872
Mitglieder: 2466

Neuestes Mitglied:
urodesufa


Online:
13 Benutzer:
0 registrierte,
0 versteckte und
13 Gäste.


Der Rekord liegt
bei 240 Benutzern
am 29.10.2012, 11:16


Mitglieder online: Keine



Mikroskopie-Treff.de - Übersicht  -  Pressemitteilungen
Thema: Navigation pur im SEM - analySIS WaferNavigator (Soft Imagin

 
Neues Thema eröffnen   Neue Antwort erstellen
Vorheriges Thema anzeigen :: Nächstes Thema anzeigen  
Autor Nachricht
Administrator



Anmeldung: 08.07.2001
Posts: 318

BeitragVerfasst am: 24.01.2004, 18:36
   Titel: Navigation pur im SEM - analySIS WaferNavigator (Soft Imagin

Antworten mit Zitat

Navigation pur im SEM - analySIS WaferNavigator (Soft Imaging System, Januar 2004)

Navigation pur im SEM - analySIS WaferNavigator

Das neue analySIS Add-In WaferNavigator von Soft Imaging System ist eine elegante Lösung zur einfachen Navigation auf Wafern und Lithographiemasken.
Die besonderen Merkmale der preisgünstigen und besonders für die Forschung und Entwicklung entwickelten Software-Erweiterung zur Bildanalyse-Software analySIS liegen in der einfachen Bedienung, der Flexibilität und der Einbindung komplexer Abläufe an jeder Die-Position, wie dies beispielsweise Linienbreitenmessungen sein können. Auf diese Weise kann ein vorhandenes SEM zu einem automatischen Messtool aufgerüstet werden.

Geometrie und Referenzpunkte
Die Geometrie des Wafers lässt sich benutzerdefiniert über Angaben wie Größe, Anzahl, Position und Zustand der "Dies" bzw. Chips festlegen.
Alternativ kann auch eine beschreibende Datei geladen werden, die die Informationen über die Zustände des Wafers und der einzelnen Dies enthält.
Benutzerdefinierbare Referenzpunkte dienen zur Ausrichtung des Wafers auf dem Motortisch. Zusätzlich zur Justierung der Tischachsen wird eine automatische Korrektur der Verkippung vorgenommen. Durch die Variation von Z-Achse oder Arbeitsabstand ist das untersuchte Die im Fokus - auch wenn der SEM-Autofokus nicht anwendbar sein sollte.

Automatische Abläufe
Neben der interaktiven Auswahl von Die-Positionen, unterstützt der analySIS WaferNavigator auch einen automatisch ablaufenden Modus. Die dabei ausgewählten einzelnen Dies oder Die-Gruppen werden mit einer Backlash-Korrektur angefahren.
An jeder angefahrenen Position lassen sich einfache oder auch sehr komplexe Messungen und/oder Abläufe ausführen. Dies können Linienbreitenvermessungen oder komplexere Analysen, Bildaufnahmen, Bildarchivierungen, Berichterstellungen, etc. sein.

Fazit
Das neue Add-In WaferNavigator für analySIS bietet vor allem Forschungs- und Entwicklungsabteilungen eine Vielzahl von Optionen. So lassen sich durch die benutzerdefinierbaren Aktionen an jeder Die-Position schnell und unkompliziert unterschiedliche Messungen durchführen und somit die Funktionen vorhandener SEMs erweitern.

KONTAKT:

Office Europa, Deutschland

Dr. Manfred Kässens
Soft Imaging System GmbH
Johann-Krane-Weg 39
48149 Münster
Tel.: +49 (251) 798 00 0
Fax: +49 (251) 798 00 99
info.de@soft-imaging.net
http://www.soft-imaging.net


Nach oben
Benutzer-Profile anzeigen Alle Beiträge von Administrator anzeigen Private Nachricht senden E-Mail senden
Beiträge der letzten Zeit anzeigen:   
Neues Thema eröffnen   Neue Antwort erstellen Alle Zeiten sind GMT - 1 Stunden
Seite 1 von 1

Gehe zu:  

Du kannst keine Beiträge in dieses Forum schreiben.
Du kannst auf Beiträge in diesem Forum nicht antworten.
Du kannst deine Beiträge in diesem Forum nicht bearbeiten.
Du kannst deine Beiträge in diesem Forum nicht löschen.
Du kannst an Umfragen in diesem Forum mitmachen.
Du kannst Dateien in diesem Forum nicht posten
Du kannst Dateien in diesem Forum herunterladen

Besucher Online: 12   Heute: 86   Monat: 2522   Gesamt: 279949


Powered by phpBB © 2001- 2004 phpBB Group Designed for Trushkin.net | Styles Database Deutsche Übersetzung von phpBB.de