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Thema: Soft Imaging System: Filter- und Waferinspektion

 
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Administrator



Anmeldung: 08.07.2001
Posts: 318

BeitragVerfasst am: 29.10.2003, 18:11
   Titel: Soft Imaging System: Filter- und Waferinspektion

Antworten mit Zitat

Bildanalysesoftware für die Filter- und Waferinspektion

Mit dem analySIS® waferInspector und dem analySIS® filter-
Inspector stellt Soft Imaging System zwei neue System-
lösungen für die Anwendungsgebiete Inspektion von Wafer-
rohlingen und Untersuchung von Rundfiltern vor. Beide
Systeme ermöglichen vollautomatische Analyse, Klassifi-
zierung und Dokumentation von Defekten auf Wafern bzw.
Rückständen auf Filtern und anderen Substraten.

Optimale Hardware-Performance
Im Rahmen einer Wafer- oder Filteranalyse sind große
Flächen in möglichst kurzer Zeit zu analysieren. Der
analySIS® waferInspector und analySIS® filterInspector
wurden speziell konzipiert, um bei hoher Auflösung
kurze Analysezeiten zu ermöglichen. So lassen sich zum
Beispiel Rundfilter mit einem Durchmesser von 50 mm bei
einer Auflösung von 0.8 µm innerhalb von 15 min vollstän-
dig charakterisieren. Diese Geschwindigkeiten werden
durch den Einsatz von speziellen Kameras und speziellen
Motortisch-Kontrollern erreicht.

Restschmutzanalyse auf kreisförmigen Substraten
Der analySIS® filterInspector führt vollautomatische
Restschmutzanalysen auf kreisförmigen Filtern durch.
Das Verfahren ermittelt dabei präzise die Anzahl der
Schmutzpartikel auf dem gesamten Filter. Der kreisförmige
Filter wird zu diesem Zweck lückenlos abgefahren, und die
Bilder werden vollautomatisch analysiert sowie klassifi-
ziert. Der Benutzer ist dabei frei in der Wahl der Analysen-
und Klassifikationsparameter. So kann beispielsweise nach
Fläche, Durchmesser, Form, ... detektiert und klassifiziert
werden. Die Partikel- und Klassifikationsdaten werden ta-
bellarisch und graphisch präsentiert. Auf diese Weise
lassen sich u. a. Verschmutzungsmaps erstellen. Der zuge-
hörige Bericht wird auf der Grundlage von benutzerspezi-
fischen Vorlagen vollautomatisch generiert. Die zugehörige
benutzerdefinierbare Inspektionsdatenbank speichert alle
revelanten Messergebnisse, Histogramme, Berichte und Pro-
bendaten ebenfalls vollautomatisch.

Defektanalyse auf Waferrohlingen
Der analySIS® waferInspector analysiert Waferrohlinge
vollautomatisch auf Verschmutzungen, Defekte oder Be-
schichtungsfehler. Die neue Systemlösung wurde speziell
entwickelt, um mit hoher Geschwindigkeit ganze Wafer-
kassetten zu analysieren. Zusätzlich zu den Analyseergeb-
nissen lässt sich eine digitale Repräsentation jedes Wafers
abspeichern. Infolgedessen kann jeder Defekt zu jedem
Zeitpunkt nach der Analyse verifiziert werden. Der Anwender
ist frei in der Wahl seiner Analyseparameter und Klassifi-
zierungsbedingungen. Zusätzlich zu Partikelund Defekttabellen
sowie Histogrammen und Berichten werden Wafermaps und Parti-
kelmaps erzeugt. Alle Messergebnisse und sonstigen Ausgaben
lassen sich vollautomatisch zusammen mit den waferspezi-
fischen Daten in einer Prozessdatenbank verwalten.

Fazit
Die neuen Systemlösungen analySIS® waferInspector und
analySIS® filterInspector ermöglichen erstmals eine extrem
schnelle Qualitätskontrolle auf der Grundlage bildanaly-
tischer Methoden mit CCD-Kameras.

Fakten über Soft Imaging System

· gegründet 1986, heute weltweit 140 Mitarbeiter aus
12 Nationen

· Hauptsitz in Münster/Westfalen, Niederlassungen in
Deutschland, Frankreich, Großbritannien, USA,
Malaysia, Australien

· Geschäftsfeld: digitale Bildverarbeitung und Bild-
analyse für Wissenschaft, Industrie und Medizin
(für Elektronenmikroskope, Lichtmikroskope, Raster-
sondenmikroskope, Laseroptische Mikroskope)

· Produktpalette: Software, Hardware, Service & Systeme
für Bildverarbeitung und -analyse für die Licht- und
Elektronenmikroskopie. Die Applikationen umfassen die
Marktsegmente Life Science, Materials Science,
Semiconductor und industrielle Anwendungen.

· Kooperationen mit Mikroskop-Herstellern und Vertriebs-
partnern weltweit

· zertifiziert nach DIN EN ISO 9001:2000 seit April 2000

· von der EU-Kommission im Rahmen des Wettbewerbs "Best
Workplaces EU 2003" als einer der 100 besten Arbeitgeber
in der Europäischen Union ausgezeichnet

Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit!

Mit freundlichen Gruessen
Soft Imaging System


____________________________________________________
More product and service information can be found at http://www.soft-imaging.net


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